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尽管尺寸较小，但在测量精度方面毫不逊色。MICURA配备蔡司VAST XT gold扫描探头与navigator技术。
工业生产中的零部件日趋小型化，同时对测量精度的要求也在不断提高，蔡司惭滨颁鲍搁础正是针对这一全新需求定制的解决方案。
工业生产中的零部件日趋小型化，同时对测量精度的要求也在不断提高，MICURA正是针对这一全新需求定制的解决方案。MICURA采用蔡司VAST XT gold扫描探头与navigator技术, 可在主动式扫描时获得微米级的测量精度。它尤其适于测量用于光学和电子产物的结构复杂的小型工件。尽管采用紧凑型设计，系统却具备500 x 500 x 500毫米的测量能力——性能远超同类产物。
蔡司VAST XT gold探头具有高速扫描功能，除可在极短时间测定几何特征外，还可精准测量及评定形状误差如圆度、平面度等特性。探针最小直径仅为0.3毫米。
蔡司MICURA采用VAST navigator技术。该技术可在确保测量精度的前提下自动调节理想的测量速度，从而显著缩短测量时间。在测量精度要求较高的区域，蔡司MICURA的移动速度放缓。当轮廓简单或精度需求较低时，移动的速度更快。
VAST navigator技术还通过切线逼近扫描、螺旋扫描和测针快速动态校准等功能进一步缩短测量时间。
小型工件的高精度叁坐标测量机
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